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특수가스
- Cl2 (염소 : Chlorine)
- AsH3 (아르신 : Arsine)
- SiH4 (실란 : Silane)
- Si2H6 (디실란 : Disilane)
- PH3 (포스핀 : Phosphine)
- B2H6 (디보란 : Diborane Mixtures)
- BF3 (삼불화 붕소 : Boron Trifluoride)
- SiCl3H (트리클로로실란 : Trichlorosilane)
- BCl3 (붕소 트리 염화물 : Boron Trichloride)
- GeH4 (게르마늄 테트라하이드라이드 : Germane)
- CF4 (테트라플루오르메탄 : Carbon Tetrafluoride)
- SiF4 (실리콘 테트라플루오리드 : Silicon Tetrafluoride)
- NH3 (암모니아 : Ammonia)
- SO2 (이산화 황 : Sulfur Dioxide)
- (CH3)2Zn (Dimethylzinc Solution)
- H2S (황화수소 : Hydrogen Sulfide)
- HCl (염화수소 : Hydrogen Chloride)
- SF6 (육불화 황 : Sulfur Hexafluoride)
- CHF3 (플루오로폼 : Trifluoromethane)
- SiCl4 (사염화규소 : Silicon Tetracholride)
- HBr (브로민화 수소 : Hydrogen Bromide)
- H2Se (셀레늄화 수소 : Hydrogen Selenide)
- C2F6 (헥사플루오르에탄 : Hexafluoroethane)